ローターシステム
ドライ真空ポンプのパワー コアは、正確に取り付けられたローター アセンブリであり、通常は 2 ～ 3 個の螺旋形または爪形のローターで構成されています。{0}}これらの高精度金属ローターは、ミクロン レベルのクリアランスで互いに噛み合い、逆回転を利用して吸気ポートから排気ポートに向かってガスを推進します。-ローターの独自のプロファイル設計-インボリュートや円弧プロファイルなど-がポンプ効率を決定します。回転速度は 3,000～6,000 rpm に達し、単一段の圧縮比は 10:1 を超えることがあります。-
シール構造
油封式ポンプとは異なり、ドライ ポンプは三層シール機構によって真空の完全性を維持します。-
ラビリンス シール: ローター端にある多段の曲がりくねったチャネルは、空気流抵抗を利用して漏れをブロックします。
ガスバリア: 不活性ガスが重要なクリアランスに注入され、空気圧バリアが形成されます。
特殊コーティング: ローター表面は PEEK (ポリエーテルエーテルケトン) などの材料でコーティングされており、耐摩耗性と摩擦係数の低減の両方を実現します。
これらの設計特徴により、漏れ率は 0.5 Pa・m3/s 未満に抑えられ、半導体製造などの業界の厳しい清浄度要件を満たします。
冷却モジュール: 連続稼働のための「温度ガーディアン」
オイルベースの潤滑剤が使用されていないため、ドライ ポンプにはインテリジェントな熱管理システムが必要です。{0}
空冷: アルミニウム合金の放熱フィンと遠心ファンの組み合わせにより、発生した熱の最大 60% を放散します。
水冷: 内部の銅管水循環ループにより、空冷の 3 倍の熱交換効率が得られます。{0}
相変化冷却: 特定のモデルはヒートパイプ技術を採用しており、純銅の最大 100 倍の熱伝導率を達成しています。
