真空ポンプの特徴

Apr 06, 2026

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比較的広い圧力範囲にわたって高い排気速度を示します。

 

ローターは優れた幾何学的対称性を備えているため、振動が最小限に抑えられ、スムーズな動作が実現します。ローター間およびローターとケーシングの間には隙間が維持されます。したがって、潤滑は必要なく、摩擦損失は最小限に抑えられます。これにより、ポンプの駆動に必要な電力が大幅に削減され、より高い回転速度での動作が可能になります。

 

ポンプ チャンバーにはシールや潤滑にオイルが必要ないため、オイル蒸気による真空システムの汚染を最小限に抑えることができます。

 

ポンプ室内には内部ガスの圧縮はなく、排気バルブもありません。構造がシンプルでコンパクトなので、排気されるガス中に存在する粉塵や水蒸気の影響を受けにくくなっています。

 

圧縮比が比較的低いため、水素ガスのポンプ効率が悪くなります。

 

ローター表面は複雑な曲線を描く円筒形状をしているため、加工や検査が比較的困難です。

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